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Veeco迎双喜:获针对SGL初步禁令,与ALLOS告竣合作
文章来源:应用赚钱提现app  作者:应用赚钱提现app  发布日期:2020-03-01  浏览次数:613
Veeco迎双喜:获针对SGL初步禁令,与ALLOS告竣合作

  昨(2)日,有机金属化学汽相沉积系统(MOCVD)装备年夜厂美国维易科(Veeco)公布,美国纽约东区处所法院赞成了Veeco公司针对SGL Carbon,LLC(SGL)的一项初步禁令要求,该公司是中微半导体装备有限公司(AMEC)的晶圆承载器供给商。该禁令制止SGL出售用在采取了Veeco专利手艺的无基座金属有机化学气相沉积系统(MOCVD)的晶圆承载器,包罗专为AMEC MOCVD系统设计的晶圆承载器。

  Veeco公司董事长兼首席履行官John R. Peeler说:“这项判决必定了Veeco常识产权和其全球专利组合的实力。Veeco狠抓常识产权工作,并果断保护其在研发方面的重年夜投资,包罗其在美国,欧洲和亚洲的专利,特殊是在中国。”

  上述判决当即生效,制止SGL在未获得Veeco明白授权的环境下出货采取了Veeco专利手艺的晶圆承载器。这也意味着制止SGL供给用在所有AMEC MOCVD系统的晶圆承载器。法院还裁定,虽然SGL有相反的论点,Veeco公司有关“无基座MOCVD反映堆利用的Veeco晶圆载体专利遭到SGL的加害且该专利有用”的宣称获得认同的可能性很年夜。SGL曾辩称,其晶圆承载器是基在AMEC的规格。这项判决显示,AMEC不尊敬Veeco的常识产权。在专利案件中,初步禁令是很罕有的,由于在陪审团对专利侵权作出判决之前公布禁售令有很是严酷的法令要求。是以,这一判决显示了SGL和AMEC加害Veeco常识产权的明白性质。

  Veeco在2017年4月12日在纽约东区的联邦法院对SGL Carbon,LLC和SGL Carbon SE睁开了专利侵权诉讼。SGL出产用在无基座MOCVD系统的晶圆承载器。除姑且禁令以外,Veeco正在追求永远性禁令和经济补偿等。

  另外, Veeco公司11月1日公布和ALLOS Semiconductors(ALLOS)告竣了一项计谋行动,展现了200mm硅基氮化镓晶圆用在蓝/绿光micro-LED 的出产。维易科和ALLOS合作将其专有外延手艺转移到 Propel单晶圆MOCVD系统,从而在现有的硅出产线上实现出产micro-LED。

  “利用Propel反映腔,我们就具有了一项MOCVD手艺,这项手艺可以或许实现高产量的GaN外延,知足在200毫米硅出产线上出产micro-LED器件的所有要求,” ALLOS Semiconductor的首席履行官Burkhard Slischka 如许说。

  “不到一个月时候我们就已在Propel上对我们的手艺进行了验证,而且取得了无裂纹、无回熔的晶圆,翘曲度低在30微米,晶体质量高,厚度平均性优良,波长平均性小在1纳米。同Veeco联袂,ALLOS等候着将该手艺在micro-LED财产中更加推行。”

  Micro-LED显示手艺由

  “和竞争敌手的MOCVD平台比拟, Veeco的TurboDisc手艺供给的制程窗口更年夜,是以Propel能提一流的平均性同时还能取得良好的膜品质,”维易科高级副总裁兼MOCVD运营总司理Peo Hansson博士如许说。“将Veeco领先的MOCVD专业手艺和 ALLOS的硅基氮化镓外延晶片手艺相连系,使我们客户可以或许开辟出低本钱的micro-LED,以便在在新的市场中开辟新的利用。”


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